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RIE plasma etcher SI 591 compact
Attrezzature
RIE plasma etcher SI 591 compact
Data di acquisizione:
(giugno 1, 2003 - )
Dati Generali
Afferenze
Dati Generali
Tipo
Grande attrezzatura di ricerca
Strutture collegate
Dipartimento di Scienze chimiche, biologiche, farmaceutiche e ambientali
Afferenze
Gruppi
Nano-Bio Materiali & Tecnologie Avanzate, Neurodegenerazione e Rigenerazione Tissutale
Laboratori
ST Microelectronics - Unime Jointed Lab 1 - A2b3 25
Referenti
CONOCI Sabrina
